產(chǎn)品描述: ◆非接觸3D表面掃描系統(tǒng) ◆搭載X、Y、Z高精度運動平臺 ◆200mm×200mm范圍內(nèi)自動測量 ◆2D剖面圖和3D點云圖 ◆友好人機界面 ◆測量表面粗糙度
◆采用白光干涉技術，分辨率達到納米級，最大可達100mm視野范圍
◆0-200mm運動精度達到微米級，運行平穩(wěn)，跳動小，磨損低
應用：
◆表面粗糙度測量
◆平面度測量
◆共面性測量
規(guī)格：
技術規(guī)格 | S | M | L |
有效視覺角度 | 5×5平方微米 | 33×33平方毫米 | 55×55平方毫米 |
橫向分辨率 | 5微米 | 17微米 | 29微米 |
掃描范圍 | 50毫米 | 50微米 | 100毫米 |
掃描速度 | 100微米/秒 | 90微米/秒 | 90微米/秒 |
工作距離 | 40-90毫米 | 40-80毫米 | 50-100毫米 |
精度（粗糙度） | 50納米 | 50納米 | 80納米 |
精度（平整度） | 30納米 | 30納米 | 50納米 |
精度（階梯差50微米） | 500納米 | 500納米 | 500納米 |
重復性（階梯差50微米） | 100納米 | 100納米 | 100納米 |
