螺桿真空泵是主要是利用一對(duì)螺桿,其特點(diǎn)是兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,所以使得干式螺桿真空泵工作時(shí),相互之間無(wú)磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合,極限真空更高。但是在我國(guó)使用的螺桿泵主要依靠,價(jià)格非常昂貴。
干式螺桿真空泵,它利用一對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。它的優(yōu)勢(shì)彌補(bǔ)了油封式真空泵的不足,我們都稱之為油封式真空泵的升級(jí)版。但是干式螺桿真空泵的造價(jià)也是它的不足之處。
隨著我國(guó)工業(yè)界的發(fā)展,在半導(dǎo)體工業(yè)、液晶顯示器等工藝制造中,對(duì)清潔真空環(huán)境的要求越來(lái)越高,而傳統(tǒng)的有油真空泵已經(jīng)達(dá)不到這樣的要求了。螺桿型干式真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn),得到越來(lái)越多制造和應(yīng)用單位的重視,在干式真空泵市場(chǎng)中占有重要的地位。在歐美和日本等發(fā)達(dá),螺桿型干式真空泵在很多領(lǐng)域已經(jīng)越來(lái)越多的代替了傳統(tǒng)的有油泵。
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