LSH拋光布廣泛應(yīng)用于硅(Si)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)、藍(lán)寶石、水晶等粗拋以及精密拋光。日本的信越半導(dǎo)體(硅片)、京瓷(藍(lán)寶石)、并木(藍(lán)寶石)、俄羅斯MonoCrystal(藍(lán)寶石)、等多家公司都在使用該拋光布。
一、藍(lán)寶石粗拋布(N0261)
物性說(shuō)明:
品名 (LVSHAN): N07126 H
用途 (FOR USES) : CMP *粗研磨用
物理性質(zhì)各項(xiàng)參數(shù) ( PHYSICAL PROPERTIES )
項(xiàng)目
重量
厚度
密度
壓縮率
彈性率
硬度
絨長(zhǎng)
開(kāi)口徑
單位
g/m2
mm
g/m3
%
%
Asker C
μm
μm
測(cè)定值
645
1.4
0.54
0.97
63
96
--
--
TEST
METHOD
JIS-
K6328
JIS-
K6328
JIS-
K6328
JIS-
L1096
JIS-
L1096
JIS-
K6301
OWN
METHOD
(物理性質(zhì)數(shù)據(jù)只是測(cè)定數(shù)值,不作為規(guī)格數(shù)值。)
(The above is not standard, but measured figures.)
產(chǎn)品特點(diǎn):
v 能提高研磨效率,研磨面的表面狀態(tài)如均勻的毛玻璃狀態(tài);
v 采用高硬度的不織布,使用壽命長(zhǎng);
v 可以用來(lái)金屬的研磨,并可以使用研磨砂,有相應(yīng)實(shí)績(jī);
v 可以根據(jù)用戶要求開(kāi)槽。
同比市面上較多的羅門哈斯SUBA系列拋光布具有以下優(yōu)點(diǎn):
v 拋光壽命更長(zhǎng)
v 價(jià)格更加低廉
v 性能與SUBA系列持平