三維測量顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,電子工業(yè)進行晶體,集成電路的檢驗和測量.配備有冷光源光纖反射照明,成象和觀察系統(tǒng),偏光裝置.
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三維測量顯微鏡
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