羅茨泵－水環(huán)泵－大氣泵機(jī)組即使采用雙級(jí)水環(huán)泵，極限真空度的提高也只是在一定的范圍之內(nèi)，這是因?yàn)槭艿剿娘柡驼羝麎旱南拗?。水環(huán)泵的理論極限壓力就是水的飽和蒸汽壓。如果考慮氣體返流等因素的影響，實(shí)際上水環(huán)泵的極限壓力比該水溫上的飽和蒸汽壓力為高。為了提高前級(jí)泵的極限真空度，還可以使水環(huán)泵與大氣泵組合使用。這樣，串聯(lián)一級(jí)大氣泵后的極限真空度可達(dá)20~30Torr,如果水環(huán)泵與二級(jí)大氣泵組合，則極限真空可達(dá)2~10Torr。工作原理：真空泵主要由真空泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋和彈簧等組合而成。在2X旋片真空泵的泵腔內(nèi)安裝轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子的外圓和真空泵腔內(nèi)表面相切，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片，將定子分成高、低級(jí)兩個(gè)工作腔，旋轉(zhuǎn)時(shí)，真空泵靠離心力和彈簧的張力使旋片頂部與真空泵腔的內(nèi)壁保持親密接觸，而轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)，使得工作腔容積周期性擴(kuò)大而吸氣，低級(jí)工作腔容積周期性縮小而壓縮氣體，借助氣體和油的壓力推開(kāi)排氣閥排氣，從而進(jìn)一步地獲得真空。當(dāng)吸入壓力較高時(shí)，氣體在腔內(nèi)被壓縮，壓力劇增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥排出，另一部分氣體經(jīng)壓縮后通過(guò)中壁內(nèi)的通道進(jìn)入低級(jí)腔，再次壓縮后從低級(jí)排氣閥排出，此時(shí)高低級(jí)腔同時(shí)排氣；當(dāng)吸入壓強(qiáng)較低時(shí)，氣體由吸氣口進(jìn)入腔內(nèi)，而氣體在腔內(nèi)壓縮所產(chǎn)生的壓力不足以推開(kāi)輔助排氣閥而直接通過(guò)級(jí)間通道進(jìn)入低級(jí)工作腔，再次壓縮后從低級(jí)排氣閥排出。它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似，工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸，原理圖間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤(rùn)滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開(kāi)線和擺線等。漸開(kāi)線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高，加工精度易于，故轉(zhuǎn)子型線多用漸開(kāi)線型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450～4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：?jiǎn)渭?jí)為6.5×10-2帕，雙級(jí)為1×10-3帕。