廠房潔凈車(chē)間新風(fēng)量要求在潔凈室中，如果新風(fēng)量不足，工作人員將有氣悶、頭暈等不舒適的癥狀發(fā)生。為了滿足工作人員的衛(wèi)生要求，工作效率，潔凈室中要供給足量的新風(fēng)。為了補(bǔ)償潔凈室中的工藝設(shè)備排風(fēng)，潔凈室需要補(bǔ)償相應(yīng)的新風(fēng)。為了潔凈室的潔凈度免受鄰室或外界的污染以及潔凈室中的產(chǎn)品或產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的致敏性物質(zhì)等對(duì)鄰室的影響，潔凈室需要維持一定的壓差值，這也需要新風(fēng)的補(bǔ)充。因此潔凈室所需的新風(fēng)量應(yīng)滿足：滿足作業(yè)人員健康要求所需的新風(fēng)量潔凈室內(nèi)作業(yè)人員的自然新陳代謝，不斷地呼出風(fēng)淋室二氧化碳和散發(fā)各種氣味、水分、熱量和微粒等，各種產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程也可能產(chǎn)生上述物質(zhì)。因此若不及時(shí)補(bǔ)充新鮮空氣，潔凈室內(nèi)以二氧化碳為代表的不利人員健康的物質(zhì)濃度將會(huì)不斷增大，作業(yè)人員在室內(nèi)長(zhǎng)期停留、活動(dòng)將會(huì)有氣悶、怠倦以至頭暈等不舒適的病癥發(fā)生。為確保作業(yè)人員的健康，在頒布的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范中均有新鮮空氣量的規(guī)定，在《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》（GBZl-2002）中規(guī)定：“每名工人所占容積小于20rr13的車(chē)間，應(yīng)每人每小時(shí)不少于30m3的新鮮空氣量?！恫膳L(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》(GBJ19)中規(guī)定一‘空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)量應(yīng)符合下列規(guī)定：生產(chǎn)廠房應(yīng)按補(bǔ)償排風(fēng)、保持室內(nèi)正壓或每人不小于30m3/h的新風(fēng)量的大值確定。”按每人每小時(shí)所需新鮮空氣量統(tǒng)計(jì)：美國(guó)為30rr13/h，英國(guó)為42m3/h，日本35n13/h。在《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》2001版中規(guī)定：每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40rn3。潔凈車(chē)間中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)適宜溫度范圍為35—45%。無(wú)錫市恒盛凈化空調(diào)有限公司在擁有一支施工經(jīng)驗(yàn)豐富，訓(xùn)練有素的施工隊(duì)伍的同時(shí)，良好的檢測(cè)手段，為確保凈化工程的質(zhì)量奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)，檢測(cè)、檢驗(yàn)設(shè)備居同行水平。歡迎新老客戶致電!潔凈車(chē)間對(duì)濕度進(jìn)行控制的濕度控制是無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對(duì)濕度是無(wú)塵車(chē)間、潔凈室運(yùn)作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。近年，在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過(guò)程，相對(duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素，其中包括：1、細(xì)菌生長(zhǎng);2、工作人員感到室溫舒適的范圍;3、出現(xiàn)靜電荷;4、金屬腐蝕;5、水汽冷凝;6、光刻的退化;7、吸水性。無(wú)錫市恒盛凈化空調(diào)有限公司是從事凈化工程、凈化除濕工程、無(wú)塵室、手術(shù)室及凈化產(chǎn)品、消聲環(huán)保設(shè)備的生產(chǎn)安裝公司。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于電子，制藥，化工，食品，化妝品，科研等行業(yè)。我公司技術(shù)力量雄厚，設(shè)備，具有從設(shè)計(jì)，制造，安裝，調(diào)試的能力。歡迎新老客戶蒞臨指導(dǎo)!