在干燥這一工序中所應(yīng)用的羅茨泵－水環(huán)泵機(jī)組的抽真空系統(tǒng)裝置。主要設(shè)備的功用簡介如下：（1）真空閥關(guān)閉真空閥，機(jī)組停止運行，可保持干燥系統(tǒng)一定的真空度。（2）自動氣動安全閥為防止機(jī)組突然停車時水環(huán)泵系統(tǒng)中的水向羅茨泵及真空干燥系統(tǒng)中倒灌。（3）壓差閥機(jī)組開始運行時，先啟動水環(huán)泵，在壓差閥兩端逐漸產(chǎn)生壓差，達(dá)到一定值時，閥自動開啟，使系統(tǒng)中大部分氣體經(jīng)此閥流進(jìn)水環(huán)泵。當(dāng)大氣逐漸通過大氣泵流進(jìn)水環(huán)泵，壓差閥兩端壓力又逐漸減小，以致關(guān)閥，于是大氣泵隨即開始正常工作，壓差閥的作用是為了縮短大氣泵正常工作前的預(yù)抽時間。（4）水位計起止逆閥的作用，防止水環(huán)泵的水倒流。為了提高羅茨旋片真空機(jī)組的抽氣性能，達(dá)到較高的極限真空和改善在低入口壓力時的抽速特性及對大型真空機(jī)組配用較小規(guī)格的前極泵，羅茨旋片真空機(jī)組也有由二級羅茨真空泵串聯(lián)的三級機(jī)組。根據(jù)被抽真空系統(tǒng)的大小及氣體狀態(tài)，羅茨旋片真空機(jī)組各泵之間的名義抽速之比一般在4∶1至10∶1之間，前者適用于較大真空系統(tǒng)及長時間在較低入口壓力或極限真空情況下工作。本系列羅茨旋片真空機(jī)組為了防止前級旋片真空泵停機(jī)返油，在前級管道上裝有電磁放氣閥，其動作與前級旋片真空泵的電機(jī)聯(lián)動。旋片式真空泵機(jī)組編輯旋片真空機(jī)組是以泵為主泵，以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成的。旋片真空機(jī)組選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且同時保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優(yōu)點。因為該機(jī)組的結(jié)構(gòu)緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺機(jī)械真空泵,因此旋片泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學(xué)反應(yīng)的也不會含有顆粒塵埃的氣體。而立式無油往復(fù)泵機(jī)組以ZJ泵為主泵，以WLW型方式無油泵為前級泵串聯(lián)而成，由于WLW型真空泵采用無油自潤滑系統(tǒng)，這樣可以獲得潔凈真空，這樣在加裝尾氣收集裝置后，可以收集在高真空系統(tǒng)中無法凝固、無法壓縮收集的氣體，而又同時避免了水環(huán)機(jī)組所產(chǎn)生的大量廢水的排放而導(dǎo)致污染環(huán)境的問題。