為了提高羅茨旋片真空機(jī)組的抽氣性能，達(dá)到較高的極限真空和改善在低入口壓力時的抽速特性及對大型真空機(jī)組配用較小規(guī)格的前極泵，羅茨旋片真空機(jī)組也有由二級羅茨真空泵串聯(lián)的三級機(jī)組。根據(jù)被抽真空系統(tǒng)的大小及氣體狀態(tài)，羅茨旋片真空機(jī)組各泵之間的名義抽速之比一般在4∶1至10∶1之間，前者適用于較大真空系統(tǒng)及長時間在較低入口壓力或極限真空情況下工作。本系列羅茨旋片真空機(jī)組為了防止前級旋片真空泵停機(jī)返油，在前級管道上裝有電磁放氣閥，其動作與前級旋片真空泵的電機(jī)聯(lián)動。在干燥這一工序中所應(yīng)用的羅茨泵－水環(huán)泵機(jī)組的抽真空系統(tǒng)裝置。主要設(shè)備的功用簡介如下：（1）真空閥關(guān)閉真空閥，機(jī)組停止運行，可保持干燥系統(tǒng)一定的真空度。（2）自動氣動安全閥為防止機(jī)組突然停車時水環(huán)泵系統(tǒng)中的水向羅茨泵及真空干燥系統(tǒng)中倒灌。（3）壓差閥機(jī)組開始運行時，先啟動水環(huán)泵，在壓差閥兩端逐漸產(chǎn)生壓差，達(dá)到一定值時，閥自動開啟，使系統(tǒng)中大部分氣體經(jīng)此閥流進(jìn)水環(huán)泵。當(dāng)大氣逐漸通過大氣泵流進(jìn)水環(huán)泵，壓差閥兩端壓力又逐漸減小，以致關(guān)閥，于是大氣泵隨即開始正常工作，壓差閥的作用是為了縮短大氣泵正常工作前的預(yù)抽時間。（4）水位計起止逆閥的作用，防止水環(huán)泵的水倒流。機(jī)組的操作順序：1）機(jī)組中無旁通閥時，應(yīng)先開動水環(huán)泵，被抽系統(tǒng)中的氣體由羅茨泵（氣體推動羅茨泵轉(zhuǎn)子自行轉(zhuǎn)動，如同流量計一般）進(jìn)入水環(huán)泵后再排至大氣，待水環(huán)泵的吸入壓力（如串聯(lián)有大氣泵，則為大氣泵的吸入壓力）達(dá)到羅茨泵的起初規(guī)定值時（即允許排氣壓力），始啟動羅茨泵，機(jī)組正式運轉(zhuǎn)，開始工作。2）機(jī)組中有旁通閥時，如圖5所示，先啟動水環(huán)泵，接著開動羅茨泵，此時，羅茨泵進(jìn)排氣壓差較大，旁通閥自動開啟，被抽容器中的氣體一部分經(jīng)過旁通閥進(jìn)入水環(huán)泵，另一部分在羅茨泵的作用下通過該泵也進(jìn)入水環(huán)泵，顯然抽氣速率增加，這樣很快達(dá)到羅茨泵的預(yù)真空，進(jìn)排氣壓差較小，閥門自動關(guān)閉（或人工關(guān)閉），機(jī)組正式工作。這種方法能大大縮短預(yù)抽時間，但設(shè)備較復(fù)雜。