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在干燥這一工序中所應用的羅茨泵－水環(huán)泵機組的抽真空系統(tǒng)裝置。主要設備的功用簡介如下：（1）真空閥關閉真空閥，機組停止運行，可保持干燥系統(tǒng)一定的真空度。（2）自動氣動安全閥為防止機組突然停車時水環(huán)泵系統(tǒng)中的水向羅茨泵及真空干燥系統(tǒng)中倒灌。（3）壓差閥機組開始運行時，先啟動水環(huán)泵，在壓差閥兩端逐漸產(chǎn)生壓差，達到一定值時，閥自動開啟，使系統(tǒng)中大部分氣體經(jīng)此閥流進水環(huán)泵。當大氣逐漸通過大氣泵流進水環(huán)泵，壓差閥兩端壓力又逐漸減小，以致關閥，于是大氣泵隨即開始正常工作，壓差閥的作用是為了縮短大氣泵正常工作前的預抽時間。（4）水位計起止逆閥的作用，防止水環(huán)泵的水倒流。一臺泵與一臺水環(huán)泵的極限壓力是400Pa，這可以滿足一般的真空需求，但它使用的范圍會受到一定的限制，如果用兩臺羅茨泵串聯(lián)再與水環(huán)泵組合，就可以大大提高機組的極限壓力（可以達到25Pa）。因此在這種類型里通常見到的是兩臺羅茨泵串聯(lián)后再用雙級泵作前級泵組成機組。如果需要更高的極限壓力，可以使用三臺羅茨泵與水環(huán)泵組合，它的極限壓力可以達到1Pa。羅茨泵－水環(huán)泵－大氣泵機組即使采用雙級水環(huán)泵，極限真空度的提高也只是在一定的范圍之內，這是因為受到水的飽和蒸汽壓的限制。水環(huán)泵的理論極限壓力就是水的飽和蒸汽壓。如果考慮氣體返流等因素的影響，實際上水環(huán)泵的極限壓力比該水溫上的飽和蒸汽壓力為高。為了提高前級泵的極限真空度，還可以使水環(huán)泵與大氣泵組合使用。這樣，串聯(lián)一級大氣泵后的極限真空度可達20~30Torr,如果水環(huán)泵與二級大氣泵組合，則極限真空可達2~10Torr。
