3N6冷凝泵檢查方法:3N6冷凝泵a1確認(rèn)整個系統(tǒng)漏氣量,比如,每小時、每天漏率。然后再將壓縮機(jī)與冷凝泵分開,先看壓縮機(jī)泄漏是,然后與整個系統(tǒng)漏率相比,確認(rèn)是部分漏;b1用水泡法或Snoop液體檢查軟管漏氣;c1若前二項(xiàng)檢查沒有問題,則是冷凝泵泄漏。5.3N6冷凝泵冷凝泵的交換①3N6冷凝泵首先,使泵恢復(fù)常溫。②3N6冷凝泵排出毒氣,在前級泵抽的過程中用N2氣沖洗。③3N6冷凝泵3N6冷凝泵在冷凝泵與大氣連通后,斷開壓縮機(jī)與冷凝泵連接的電、氣接頭。注:a1記住He高、低壓管的相互位置。b1在壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)情況下?lián)Q泵時,要先斷高壓后斷低壓。否則,高壓不能迅速釋放,馬達(dá)電源會自動切斷,并使真空安全閥打開冷凝泵結(jié)構(gòu)說明品種N型冷凝泵為臥式懸臂單級、兩級離心泵，共分8個品種。單級的有3N6、4N6、100N130如圖1；兩級的有2.5N3X2、3N6X2、4N6X2如圖2；單級帶誘導(dǎo)輪的有6N6、150N110如圖冷凝泵支承部分支承部分主要件有托架、前后鈾承壓蓋和鈾組合定位在托架上的前后徑向滾珠鈾承上，滾球鈾承亦承受未被平衡的鈾向力。用稀油潤滑，油量可從油標(biāo)看出。前后鈾承壓蓋均裝有毛氈密封圈做為鈾封以防漏油。管堵處的孔用來灌油。清洗換油時從絲孔將油放出。冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力較低、抽氣速率較大的真空泵，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高性等突出優(yōu)勢，被廣泛的應(yīng)用于科學(xué)研究實(shí)驗(yàn)室、乃至工業(yè)生產(chǎn)等眾多領(lǐng)域，如半導(dǎo)體材料制作、平板顯示器生產(chǎn)/測試設(shè)備、太陽能制造業(yè)、真空鍍膜、熱真空系統(tǒng)等。[1]冷凝泵適用介質(zhì)：清水冷凝泵適用介質(zhì)溫度：0℃至120℃冷凝泵使用范圍100N130和150N110型可輸送120℃以內(nèi)的液體，但其他泵輸送液溫不能超過80℃。