Formtracer 表面粗糙度、輪廓形狀一體機(jī) Formtracer Extreme (超級(jí)表面粗糙度/輪廓測(cè)量裝置) CS-5000CNC / CS-H5000CNC 525系列 — CNC 形狀測(cè)量?jī)x ? 高精度測(cè)針型CNC表面測(cè)量?jī)x可以同時(shí) 進(jìn)行表面粗糙度和形狀/輪廓的測(cè)量。 ? X1軸和Z2軸的較大驅(qū)動(dòng)速度分別為 40mm/s和200mm/s，可以高速定位，從 而提高了多重輪廓/多工件測(cè)量的效率。 ? X1軸和Z1軸上裝有三豐激光全息光柵 尺，從而可以實(shí)現(xiàn)高分辨率[X1軸分辨 率 ：6.25nm, Z1軸分辨率 ：4nm/8nm(CS- 5000CNC), 1nm/2nm (CS-H5000CNC)]的輪 廓/形狀測(cè)量、表面粗糙度的批量測(cè)量。 ? Z1軸檢出器采用主動(dòng)控制方式，減少Z1 軸動(dòng)態(tài)測(cè)力變化的同時(shí)擴(kuò)展了測(cè)量范圍。 ? Z1軸檢出器集成了防碰撞安全裝置，當(dāng) 儀器主體與工件或夾具發(fā)生碰撞時(shí)，檢 測(cè)裝置可以自動(dòng)停止工作。 ? CS-5000CNC 帶有 a 軸，可以通過電動(dòng)旋 轉(zhuǎn)X1軸連續(xù)測(cè)量水平面和傾斜面。 ? 帶有Y軸工作臺(tái)的型號(hào)，可沿Y軸進(jìn)行多 工件定位，從而增加了多工件測(cè)量范圍。 ? 提供易于操作的控制盒，用戶可以通過這 兩個(gè)操縱桿選擇合適的軸進(jìn)行移動(dòng)。在 按鍵上標(biāo)有易于理解的圖形顯示軸的選 擇狀態(tài)。 ? 通過USB端口與數(shù)據(jù)處理/分析裝置(選件) 進(jìn)行信息交換。 性能參數(shù) 型號(hào) CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC 貨號(hào)* (200V - 240V) 525-721-2 525-722-2 525-723-2 525-724-2 X1軸測(cè)量范圍 200mm 200mm 200mm 200mm Z2軸垂直移動(dòng) 300mm 300mm 300mm 300mm Y軸工作臺(tái)裝置 — — 已安裝 已安裝 a 軸裝置 — 已安裝 — 已安裝 型號(hào) CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC 貨號(hào)* (200V - 240V) 525-741-2 525-742-2 525-743-2 525-744-2 X1軸測(cè)量范圍 200mm 200mm 200mm 200mm Z2軸垂直移動(dòng) 500mm 500mm 500mm 500mm Y軸工作臺(tái)裝置 — — 已安裝 已安裝 a 軸裝置 — 已安裝 — 已安裝 * 根據(jù)不同的交流電源電纜及測(cè)量裝置，可選不同的選件套裝。12AAL412 (公制型, UL/CSA), 12AAL413(公制型, 歐盟), 12AAL414 (公 制型, BS), 12AAL418 (公制型, 中國(guó)), 12AAL419 (公制型, EK) 型號(hào) CS-H5000CNC CS-H5000CNC 貨號(hào)* (200V - 240V) 525-761-2 525-763-2 X1軸測(cè)量范圍 200mm 200mm Z2軸垂直移動(dòng) 300mm 300mm Y軸工作臺(tái)裝置 — 已安裝 a 軸裝置 — —技術(shù)參數(shù): X1軸 測(cè)量范圍: 200mm 分辨率: 0.00625μm 檢測(cè)方法: 激光全息光柵尺 驅(qū)動(dòng)速度: 較大 40mm/s (CNC 模式) 0 - 40mm/s (操縱桿控制模式) 測(cè)量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度) 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓) 測(cè)量方向: 向前／向后 直線度: (0.1 0.0015L)μm 使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針 (0.2 0.0015L)μm 使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針 直線度: (0.05 0.0003L)μm 使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針 (0.1 0.0015L)μm 使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針 (CS-H5000CNC) 指示精度 (20oC): ±(0.3 0.002L)μm 指示精度 (20oC): ±(0.16 0.001L)μm L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) Z1軸 測(cè)量范圍: 12mm (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針) 24mm (使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針) 分辨率: 0.004μm (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針) 0.008μm (使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針) 0.001μm (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針) (CS-H500CNC) 0.002μm (使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針) (CS-H500CNC) 測(cè)針上／下運(yùn)作: 弧形運(yùn)動(dòng) 檢測(cè)方法: 激光全息光柵尺 指示精度 (20oC): ±(0.3 I0.02HI)μm 指示精度 (20oC): ±(0.07 I0.02HI)μm H 為測(cè)量高度 (mm) 測(cè)力: 4mN (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針) 0.75mN (使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針) 跟蹤角度: 向上60o, 向下60o (取決于表面粗糙度) 測(cè)針針尖: 參見 L-22 頁(yè) 測(cè)針方向: 向下 Z2軸 (立柱) 測(cè)量范圍: 300mm或500mm *CS-H5000CNC : 僅300mm 分辨率: 0.05μm 檢測(cè)方法: 反射型線性編碼器 驅(qū)動(dòng)速度: 較大 200mm/s (CNC 模式) 0 - 50mm/s (操縱桿控制模式) 基座尺寸 (W x D): 750 x 600mm 基座材料: 花崗巖 Y軸* 測(cè)量范圍 : 200mm 分辨率 : 0.05μm 驅(qū)動(dòng)速度: 較大200mm/s (CNC 模式) 0~50mm/s (操縱桿控制模式) 工件較大承重 : 20kg 直線度 : 0.5μm/200mm 指示精度 (20oC): ±(2 2L/200)μm L 任意兩點(diǎn)間的長(zhǎng)度 (mm) 尺寸 (W x D x H): 800 x 620 x 1000mm (800 x 620 x 1200mm: 高立柱型) 重量: 240kg (250kg: 高立柱型)